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DIN 50453-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen - Teil 2: Siliciumdioxid-Schichten, Optisches Verfahren
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Status: | Standard |
Released: | 2023-08 |
Standard number: | DIN 50453-2 |
Language: | German |
Name: | Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen - Teil 2: Siliciumdioxid-Schichten, Optisches Verfahren |
Pages: | 9 |
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