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DIN 50450-9
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
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| Status: | Standard |
| Released: | 2021-07 |
| Standard number: | DIN 50450-9 |
| Language: | German |
| Name: | Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie |
| Pages: | 8 |
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