Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
Format
Availability
Price and currency
English Hardcopy
In stock
61.00 EUR
FREE Shipping
Number of Standard:
CSN EN 62047-10
Category:
358775
Pages:
24
Released:
01.03.2012
Catalog number:
90140
DESCRIPTION
CSN EN 62047-10
CSN EN 62047-10 Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení. Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikrostrojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály. Original English text of CSN EN Standard. The price of the Standard included all amendments and correcturs.