Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
Format
Availability
Price and currency
English Hardcopy
In stock
61.00 EUR
FREE Shipping
Number of Standard:
CSN EN 62047-21
Category:
358775
Pages:
24
Released:
01.04.2015
Catalog number:
97102
DESCRIPTION
CSN EN 62047-21
CSN EN 62047-21 Tato norma definuje stanovení Poissonova poměru z výsledků měření, které jsou získány pomocí zatěžování tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS) v jedné, nebo dvou osách. Jedná se o vzorky, které mají délku a šířku menší jak 10 mm a tloušťku menší jak 10 µm. Original English text of CSN EN Standard. The price of the Standard included all amendments and correcturs.
