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DIN 32564-1
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
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| Status: | Standard |
| Released: | 2004-05 |
| Standard number: | DIN 32564-1 |
| Language: | German |
| Name: | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik |
| Pages: | 6 |
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