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DIN EN 62047-18
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe (IEC 62047-18:2013); Deutsche Fassung EN 62047-18:2013
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| Status: | Standard |
| Released: | 2014-04 |
| Standard number: | DIN EN 62047-18 |
| Language: | German |
| Name: | Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe (IEC 62047-18:2013); Deutsche Fassung EN 62047-18:2013 |
| Pages: | 15 |
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