PRICES include / exclude VAT
Homepage>CSN Standards>35 ELECTRICAL ENGINEERING>3587 Semiconductor elements>CSN EN 62047-11 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
Sponsored link
Released: 01.04.2014
CSN EN 62047-11 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

CSN EN 62047-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

Format
Availability
Price and currency
English Hardcopy
In stock
76.67 USD
FREE Shipping
Number of Standard:CSN EN 62047-11
Category:358775
Pages:32
Released:01.04.2014
Catalog number:95058
DESCRIPTION

CSN EN 62047-11

CSN EN 62047-11 Tato norma popisuje zkušební metodu na měření lineárního koeficientu teplotní roztažnosti (CLTE) volně umístěných pevných (kovových, keramických, polymerních aj.) materiálů pro mikroelektromechanické systémy (MEMS) délek mezi 0,1 mm až 1 mm a šířek mezi 10 µm až 1 mm s tloušťkami od 0,1 µm do 1 mm. Jedná se o hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tato zkušební metoda se dá použít pro měření CLTE v teplotním rozsahu od pokojové teploty do 30 % teploty tavení materiálu.
Original English text of CSN EN Standard.
The price of the Standard included all amendments and correcturs.