Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials
Format
Availability
Price and currency
English Hardcopy
In stock
61.00 EUR
FREE Shipping
Number of Standard:
CSN EN 62047-14
Category:
358775
Pages:
28
Released:
01.10.2012
Catalog number:
91588
DESCRIPTION
CSN EN 62047-14
CSN EN 62047-14 Tato norma popisuje definice a postupy pro měření mezní tvářitelnosti kovových materiálů tvořících vrstvu pro tloušťky v rozmezí od 0,5 µm do 300 µm. Kovové vrstvy, které jsou v normě zmiňovány se používají v elektrických částech, MEMS a mikrosoučástkách. Norma uvádí metody předpovídání vad v materiálu při vtiskávacím procesu. Original English text of CSN EN Standard. The price of the Standard included all amendments and correcturs.