Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
Format
Availability
Price and currency
English Hardcopy
In stock
52.00 EUR
FREE Shipping
Number of Standard:
CSN EN 62047-16
Category:
358775
Pages:
20
Released:
01.09.2015
Catalog number:
98269
DESCRIPTION
CSN EN 62047-16
CSN EN 62047-16 Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu. Original English text of CSN EN Standard. The price of the Standard included all amendments and correcturs.
