PRICES include / exclude VAT
Homepage>CSN Standards>35 ELECTRICAL ENGINEERING>3587 Semiconductor elements>CSN EN 62047-25 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area
Sponsored link
Released: 01.04.2017
CSN EN 62047-25 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

CSN EN 62047-25

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

Format
Availability
Price and currency
English Hardcopy
In stock
76.67 USD
FREE Shipping
Number of Standard:CSN EN 62047-25
Category:358775
Pages:36
Released:01.04.2017
Catalog number:502144
DESCRIPTION

CSN EN 62047-25

CSN EN 62047-25 Tato norma specifikuje zkušební metodu in-situ (na místě) založenou na vzorových technikách k měření přilnavosti mikrooblastí, které jsou vyrobeny mikroobráběcí technologií, která se využívá v mikroelektromechanických systémech (MEMS) na bázi křemíku. Norma je použitelná k měření pevnosti při namáhání tah-tlak a ve smyku pro mikrooblast připojení, vyrobených mikroelektronickými technologickými procesy a dalšími mikroobráběcími technologiemi. Mikro ukotvení, upevněné na substrátu pomocí mikrooblasti připojení, poskytuje mechanickou podporu pohyblivé snímací/ovládací funkční komponentě v součástkách MEMS. Se stárnutím součástek se stává závažnější degradace pevnosti připojení vlivem defektů, nečistot a nerovnoměrným tepelným namáháním na připojovací ploše. Norma nepotřebuje složité přístroje (jako je mikroskopie skenovací sondou a zhotovování nano-zářezů) a to ani k přípravě zkušebního vzorku. Vzhledem k tomu, že zkušební sestava uvedená v této normě může být implantována při zhotovení zařízení jako standardní detekční vzor, může tento dokument poskytnout most, na jehož základě může výrobce návrhářům poskytnout nějaké kvantitativní reference.
Original English text of CSN EN Standard.
The price of the Standard included all amendments and correcturs.