UNE EN 62047-11:2013

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (Endorsed by AENOR in November of 2013.)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 11: Método de ensayo para coeficientes de expansión térmica lineales de materiales MEMS independientes (Ratificada por AENOR en noviembre de 2013.)